Измерительные приборы FISCHERSCOPE X-RAY серий XDL/XDLM/XDAL

Измерительные приборы FISCHERSCOPE X-RAY серий XDL/XDLM/XDAL используют рентгенофлюоресцентный метод, имеют различные исполнения аппаратной части. Конфигурацию устройства можно подобрать в соответствии с конкретной метрологической задачей.

Приборы с различными диапазонами измерения могут использоваться для ручного, частично либо полностью автоматизированного контроля, а также проведения серийных измерений. Соответствует стандартам DIN ISO 3497 и ASTM B 568.

Серия XDL

Включает модели XDL 210/220/230/240, которые доступны с различными вариантами опор для размещения образцов, а также фиксированной или регулируемой осью Z. Энергодисперсионные приборы универсальны в применении и подходят для измерения толщины и анализа тонких покрытий, частей печатных плат и деталей серийного производства.

Серия XDLM

Включает модели XDLM 231/232/237, которые имеют фиксированную, управляемую вручную или моторизованную XY-опору для образцов. Все модели серии оснащены программируемой осью Z с приводом. Имеют электрически сменные апертуры и первичные фильтры. Приборы подходят для исследования тонких покрытий, даже с малой плотностью.

Модель XDAL 237

Устройство разработано для неразрушающего контроля и анализа очень тонких покрытий ≤ 0,1 мкм, имеющих небольшую плотность и сложный состав. Благодаря программируемой XY-регулировке опоры прибор отлично подходит для автоматизированных измерительных операций при мониторинге качества и производственном процессе.

080  мм
Расстояние до образца

Особенности

  • в моделях, оборудованных XY-регулировкой опоры, имеется лазерная указка для облегчения позиционирования и выравнивания образцов;
  • представление данных на ПК, анализ и оценка измерений осуществляются с помощью программного обеспечения WinFTM;
  • оснащены цветной видеокамерой высокого разрешения для определения места измерения;
  • метод фундаментальных параметров Fischer исключает необходимость калибровки;
  • зазор в корпусе позволяет проводить измерения на больших плоских образцах, которые не помещаются в измерительную камеру;
  • интегрированный видеомикроскоп с масштабированием для точной регулировки точки измерения;
  • высокая скорость измерения благодаря использованию пропорционального счётчика;
  • долговременная стабильность системы.

Сферы применения

  • контроль качества, входящий контроль и контроль производственного процесса;
  • проверка тонких покрытий и слоёв декоративного хромирования;
  • анализ растворов гальванических покрытий;

 

  • контроль функциональных покрытий в электронике и полупроводниках;
  • исследование деталей гальванического производства;
  • автоматизированные измерения.

Технические характеристики серии XDL

Модель XDL 210 XDL 220 XDL 230  XDL 240
Рентгеновский источник вольфрамовая трубка с бериллиевым окном вольфрамовая трубка с бериллиевым окном
Напряжение 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ
Апертура (коллиматор) Ø 0,3 мм; опция Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,3×0,05 мм Ø 0,3 мм; опция Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,3×0,05 мм
Область измерения мин. Ø 0,2 мм мин. Ø 0,2 мм мин. Ø 0,2 мм мин. Ø 0,2 мм
Рентгеновский детектор пропорциональный счётчик пропорциональный счётчик
Диапазон элементов от Ti (22) до U (92), анализирует до 24 элементов одновременно с использованием WinFTM BASIC
Расстояние до образца 0 – 80 мм 0 – 80 мм 0 – 80 мм 0 – 80 мм
Область размещения образца 463×500 мм 463×500 мм 420×450 мм 300×350 мм
Максимальная масса образца 20 кг 20 кг 20 кг 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 25 – 300 мм
(в зависимости от опоры)
140 мм / 290 мм 140 мм 140 мм
Исполнение фиксированная опора фиксированная опора ручная 
XY-регулировка
программируемая 
XY-регулировка
Перемещение опоры по оси XY 95×150 мм 255×235 мм
Скорость перемещения опоры ≤ 80 мм/сек
Ось Z фиксированная позиция (верхняя/средняя/нижняя) электрически регулируемая электрически регулируемая программируемая
Перемещение опоры по оси Z 140 мм 140 мм 140 мм
Лазерная указка есть есть
Масштабирование 1x, 2x, 3x, 4x 1x, 2x, 3x, 4x 1x, 2x, 3x, 4x 1x, 2x, 3x, 4x
Видеомикроскоп цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического контроля местоположения измерения вдоль оси первичного луча, перекрестье с калиброванной шкалой (линейкой) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка
Программное обеспечение стандартно: Fischer WinFTM LIGHT; опционально: Fischer WinFTM BASIC, PDM, SUPER
Питание адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт
Диапазон рабочих температур от +10 до +40 °С от +10 до +40 °С от +10 до +40 °С от +10 до +40 °С
Класс защиты IP40 IP40 IP40 IP40
Температура хранения от 0 до +50 °С от 0 до +50 °С от 0 до +50 °С от 0 до +50 °С
Габариты 570×760×650 мм 570×760×650 мм 570×760×650 мм 570×760×650 мм
Масса 94 кг 99 кг 107 кг 120 кг

Технические характеристики серии XDLM

Модель XDLM 231 XDLM 232 XDLM 237
Рентгеновский источник микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном  
Напряжение 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ
Апертура (коллиматор) стандартно 4 сменных: Ø 0,1 мм; Ø 0,2 мм; 0,05×0,05 мм; 0,2×0,03 мм; опция: Ø 0,3 мм; 0,3×0,05 мм
Область измерения мин. Ø 0,1 мм
с апертурой 0,05×0,05 мм
мин. Ø 0,1 мм
с апертурой 0,05×0,05 мм
мин. Ø 0,1 мм
с апертурой 0,05×0,05 мм
Рентгеновский детектор пропорциональный счётчик пропорциональный счётчик пропорциональный счётчик
Диапазон элементов от K (19) до U (92), анализирует до 24 элементов одновременно с использованием WinFTM BASIC
Расстояние до образца  0 – 80 мм  0 – 80 мм  0 – 80 мм
Область размещения образца 463×500 мм 420×450 мм 300×350 мм
Максимальная масса образца 20 кг 20 кг 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 140 мм 140 мм 140 мм
Исполнение фиксированная опора ручная XY-регулировка программируемая моторизованная XY-регулировка
Перемещение опоры по оси XY 95×150 мм 255×235 мм
Скорость перемещения опоры ≤ 80 мм/сек
Ось Z электрически регулируемая электрически регулируемая программируемая
Перемещение опоры по оси Z 140 мм 140 мм 140 мм
Лазерная указка есть есть есть
Масштабирование 1x, 2x, 3x, 4x 1x, 2x, 3x, 4x 1x, 2x, 3x, 4x
Видеомикроскоп цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, ручная фокусировка и автофокус, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов
Программное обеспечение стандартно: Fischer WinFTM LIGHT; опционально: Fischer WinFTM BASIC, PDM, SUPER
Питание адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт
Диапазон рабочих температур от +10 до +40 °С от +10 до +40 °С от +10 до +40 °С
Класс защиты IP40 IP40 IP40 
Температура хранения от 0 до +50 °С от 0 до +50 °С от 0 до +50 °С
Габариты 570×760×650 мм 570×760×650 мм 570×760×650 мм
Масса 100 кг 108 кг  120 кг 

Технические характеристики модели XDAL 237

Рентгеновский источник микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ
Апертура (коллиматор) 4 сменных: Ø 0,1 мм; Ø 0,3 мм; Ø 0,6 мм; 0,5×0,15 мм
Область измерения Ø 0,15 мм с апертурой 0,1 мм
Рентгеновский детектор версия с кремниевым ПИН-детектором, разрешение ≤ 200 эВ, элементы: от S (16) до U (92);
  версия с кремниевым дрейфовым детектором, разрешение ≤ 160 эВ, элементы: от Al (13) до U (92)
Расстояние до образца 0 – 80 мм
Область размещения образца 300×350 мм
Максимальная масса образца 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 140 мм
Исполнение программируемая моторизованная XY-регулировка
Перемещение опоры по оси XY 255×235 мм
Скорость перемещения опоры 80 мм/сек
Перемещение опоры по оси Z 140 мм
Лазерная указка есть
Масштабирование 1x, 2x, 3x, 4x
Видеомикроскоп цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, ручная фокусировка и автофокус, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов
Программное обеспечение стандартно: Fischer WinFTM BASIC включая PDM; опционально: Fischer WinFTM SUPER
Питание адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт
Диапазон рабочих температур от +10 до +40 °С
Класс защиты IP40
Температура хранения от 0 до +50 °С
Габариты 570×760×650 мм
Масса 115 кг

 

Производитель
Helmut Fischer