Толщиномеры и анализаторы покрытий FISCHERSCOPE X-RAY серии XDV-μ

Толщиномеры и анализаторы покрытий FISCHERSCOPE X-RAY серии XDV-μ предназначены для микроанализа материалов с высокой точностью. В зависимости от рентгеновской оптики могут быть проанализированы структуры размером 100 мкм или менее. Подходят только для плоских или почти плоских образцов.

Все устройства серии оборудованы поликапиллярной оптикой, фокусирующей пучок рентгеновских лучей. При этом создаётся измерительное пятно диаметром от 10 до 60 мкм. Сфокусированное излучение высокой мощности позволяет сократить длительность измерений. Приборы соответствуют стандартам DIN ISO 3497 и ASTM B 568.

Области применения

Подходят для неразрушающего анализа и измерения толщины покрытия на очень малых компонентах и структурах. Могут применяться для исследования печатных плат и контактов, анализа очень тонких покрытий, золотых и палладиевых покрытий толщиной менее 0,1 мкм, измерения функциональных покрытий в электронике и полупроводниках, исследования сложных многослойных систем.

Модификации

Кроме универсального устройства XDV-μ имеются специализированные варианты. Модель XDV-μ LD (Long Distance) характеризуется расстоянием измерения мин. 12 мм. Это позволяет анализировать объекты со сложной геометрией. Модель XDV-μ PCB (Printed Circuit Boards) разработана для исследования небольших конструкций печатных плат и их компонентов размером до 610×610 мм.

Модель XDV-μ WAFER служит для измерений на пластинах диаметром до 300 мм. Имеет вакуумную систему захвата пластины. Диапазон хода XY-регулируемой опоры охватывает каждую точку на пластине. Модель XDV-μ LEAD FRAME оптимизирована для анализа толщин и составов покрытий на выводной рамке, например, AuAg/Pd/Ni/Au или CuFe/Pd/Ni/CuFe в нанометровом диапазоне. Определяет содержание фосфора в покрытиях NiP.

1060  мкм
Диапазон размеров измерительного пятна

Особенности

  • корпус моделей XDV-μ, XDV-μ LD и XDV-μ LEAD FRAME имеет прорезь в боку, позволяющую измерять большие компоненты;
  • кремниевый дрейфовый детектор обеспечивает высокую точность и хорошую чувствительность обнаружения;
  • цветная видеокамера высокого разрешения упрощает точное определение места измерения;
  • метод фундаментальных параметров Fischer исключает необходимость калибровки;
  • оборудованы электрически сменными первичными фильтрами;
  • поликапиллярная рентгеновская оптика;
  • оптика моделей XDV-μ PCB и XDV-μ WAFER оснащена функцией автофокусировки, в сложных случаях инструмент может проектировать контрастную сетку на поверхность образца;
  • представление данных на ПК, анализ и оценка измерений осуществляются с помощью программного обеспечения WinFTM;
  • оснащены высокоточной программируемой XY-опорой и Z-осью с электрическим приводом;
  • лазерная указка для облегчения позиционирования и выравнивания образцов;
  • возможность автоматизированного контроля.

Технические характеристики модели XDV-μ

Диапазон элементов от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно
Рентгеновский источник стандартно: микрофокусная трубка с вольфрамовой мишенью и бериллиевым окном;
опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ
Первичный фильтр 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра
Область измерения Ø 20 мкм
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки фиксированное, около 4 – 5 мм
Рентгеновский детектор кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2
Область размещения образца 370×320 мм
Максимальная масса образца 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 135 мм
Перемещение опоры по оси XY 250×220 мм
Перемещение опоры по оси Z 140 мм
Скорость перемещения опоры 60 мм/сек
Масштабирование до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x)
Габариты 660×835×720 мм
Масса 135 кг

Технические характеристики модели XDV-μ LD

Диапазон элементов от S (16) до U (92), до 24 элементов одновременно
Рентгеновский источник стандартно: микрофокусная трубка с вольфрамовой мишенью и бериллиевым окном;
опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ
Первичный фильтр 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра
Область измерения  Ø 60 мкм
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки фиксированное, около 14 мм;
мин. 12 мм
Рентгеновский детектор кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2
Область размещения образца 370×320 мм
Максимальная масса образца 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 135 мм
Перемещение опоры по оси XY 250×220 мм
Перемещение опоры по оси Z 140 мм
Скорость перемещения опоры 60 мм/сек
Масштабирование до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x)
Габариты 660×835×720 мм
Масса 135 кг

Технические характеристики модели XDV-μ PCB

Диапазон элементов от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно
Рентгеновский источник стандартно: микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном;
опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ
Первичный фильтр 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра
Область измерения  Ø 20 мкм
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки фиксированное, около 4 – 5 мм
Рентгеновский детектор кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2
Область размещения образца 600×600 мм
Максимальная масса образца 5 кг
Максимальная высота образца 10 мм
Перемещение опоры по оси XY 450×300 мм
Скорость перемещения опоры 60 мм/сек
Проекция контрастной сетки на поверхность образца есть
Масштабирование цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x
Габариты 670×885×660 мм
Масса 156 кг

Технические характеристики модели XDV-μ WAFER

Диапазон элементов от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно
Рентгеновский источник стандартно: микрофокусная трубка с анодом из молибдена и бериллиевым окном;
опционально: микрофокусная трубка с анодом из вольфрама и бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ
Первичный фильтр 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра
Область измерения Ø 20 мкм
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки фиксированное, около 4 – 5 мм
Рентгеновский детектор кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2
Диаметр пластины 150 мм, 200 мм, 300 мм
Максимальная масса образца 5 кг
Максимальная высота образца 3 мм
Перемещение опоры по оси XY 450×300 мм
Скорость перемещения опоры 60 мм/сек
Проекция контрастной сетки на поверхность образца есть
Масштабирование цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x
Габариты 680×900×690 мм
Масса 130 кг

Технические характеристики модели XDV-μ LEAD FRAME

Диапазон элементов от Na (11) до U (92), до 24 элементов одновременно
Рентгеновский источник высокомощная трубка с бериллиевым окном
Напряжение 10 кВ, 20 кВ, 50 кВ
Первичный фильтр 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра
Область измерения Ø 50 мкм
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки фиксированное, около 1,5 – 2 мм
Рентгеновский детектор кремниевый дрейфовый детектор
Область размещения образца 370×320 мм
Максимальная масса образца 5 кг / 20 кг
Максимальная высота образца 135 мм
Перемещение опоры по оси XY 250×220 мм
Перемещение опоры по оси Z 140 мм
Скорость перемещения опоры 60 мм/сек
Масштабирование до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x)
Габариты 660×835×720 мм 
Масса 135 кг

Общие параметры

Направление измерения сверху вниз
Рентгеновская оптика поликапиллярная
Видеомикроскоп цветная CCD камера с высоким разрешением для оптического мониторинга положения измерения вдоль оси первичного луча, перекрестье с калиброванной шкалой (линейка) и индикатор пятна, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка (класс 1) для точного размещения образцов
Фокусировка ручная фокусировка и автофокусировка
Программное обеспечение стандартно: Fischer WinFTM BASIC включая PDM; опционально: Fischer WinFTM SUPER
Питание адаптер переменного тока AC 115 или 230 В; частота 50/60 Гц; потребляемая мощность макс. 120 Вт
Диапазон рабочих температур от +10 до +40 °С
Класс защиты IP40
Температура хранения от 0 до +50 °С

 

Производитель
Helmut Fischer